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J-GLOBAL ID：200903026873894649

配線故障解析方法

Inventor： 日比野 栄子
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 高野 明近
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994306511
Publication number (International publication number)：1995283283
Application date： Dec. 09, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ポテンシャル解析と粒界拡散の解析とを組み合わせて行うエレクトロマイグレーションによる配線故障の数値解析において、より実際に近い現象を再現することにより、詳細な解析を可能にする。【構成】 まず、配線形状に従って結晶粒組織の生成を行い(step1)、有限要素法により電流密度分布を求める(step2)。次に、共通のメッシュを用いて得られた電流により、発生するジュール熱を熱源として有限要素法により温度分布を求める(step3)。形成された粒界のネットワーク上での原子の拡散量を求め(step4)、その結果、各3重点での原子の収支に過不足が生じるので、ボイドやヒロックが生じたものとみなして所定の処理を行う(step5)。ボイドが成長して断線に至るまで、あるいは一部の温度が融点に達して溶断したとみなされるまで、前記step1〜step5を繰り返す(step6)。

Claim (excerpt)：

少なくともポテンシャル解析と結晶粒組織の粒界での原子の拡散の解析とからなるエレクトロマイグレーションによる配線故障解析方法において、入力する結晶粒組織として結晶粒成長シミュレーションの結果を用いることを特徴とする配線故障解析方法。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02