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J-GLOBAL ID：200903026876980155

薄型感圧センサとその製造方法

Inventor： 金澤 成寿 ,  長井 彪 ,  伊藤 雅彦 ,  藤井 優子 ,  中谷 直史 ,  荻野 弘之 ,  吉野 浩二 ,  原 由美子
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000104632
Publication number (International publication number)：2001289718
Application date： Apr. 06, 2000
Publication date： Oct. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 感圧層と電極間の密着性すなわち接触抵抗(浮遊容量)に起因する圧電特性の改善。【解決手段】 可撓性のある電極1の表面上に直接スラリー状の感圧層2を薄くコーティングする構成としている。この構成により、グリーンシートとして感圧体を別のシートの上に形成する必要がないため製造が簡単になり、感圧体と電極1間の密着が強固にできる薄型感圧センサを実現することができる。

Claim (excerpt)：

感圧層が電極間に挟まれた構成を有する感圧体において、感圧層を可撓性があるフィルムあるいはシート状の電極上に少なくとも圧電特性を示すセラミックス材料とバインダーとしての高分子材料とそれらを分散させる溶媒とを含むスラリーをコーティングして感圧層を形成させ、さらに可撓性のある電極を積層して形成することを特徴とする薄型感圧センサ。

IPC (4)：

G01L 1/16 ,  G01L 9/08 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (6)：

G01L 1/16 C ,  G01L 1/16 A ,  G01L 9/08 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/08 H ,  H01L 41/22 Z

F-Term (11)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC60 ,  2F055DD09 ,  2F055DD11 ,  2F055EE23 ,  2F055FF11 ,  2F055FF43 ,  2F055FF49 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12