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J-GLOBAL ID：200903026883577188
マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997072270
Publication number (International publication number)：1998299659
Application date： Mar. 25, 1997
Publication date： Nov. 10, 1998
Summary：
【要約】【課題】 シリコン基板上にマイクロマシニング技術を用いて、双方向送液が可能でかつ耐背圧性の高い能動的バルブを有し、圧電素子とシリコンダイアフラムのユニモルフ構造によって薄型化を可能とし、かつ薄膜逆止弁を有することによって吐出効率を向上させることも可能なマイクロポンプの実現を図ることにある。【解決手段】 シリコン基板に形成されたダイアフラムの剛性によってパッキンをガラス基板に押しつけ耐圧性を有するバルブを実現し、圧電素子とダイアフラムのユニモルフ構造によってバルブの能動的な開閉を実現する。そして同じく圧電素子とダイアフラムのユニモルフ構造によってポンピング動作をおこなうことによって、任意の方向への送液を可能とする。また吐出口にアルミニウム犠牲層とポリイミドによる薄膜逆止弁を取り付けることによって吐出効率を向上させることも可能である。
Claim (excerpt)：
半導体プロセスによってシリコン基板上につくられた中央部に突起を有し弁の開閉をおこなう吐出側、吸入側の二つのバルブ部ダイアフラムと、同じくシリコン基板上につくられた流体を押し出す働きをする一つのポンプ部ダイアフラムと、流体が通過する貫通穴を有しシリコン基板に接合されるガラス基板と、三つのダイアフラムを能動的に駆動するアクチュエータから構成されることを特徴とするマイクロポンプ。
IPC (3)：
F04B 43/04
, F04B 9/00
, F04B 43/02
F04B 43/04 B
, F04B 9/00 B
, F04B 43/02 D
Cited by examiner (7)
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