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J-GLOBAL ID：200903026898049285
着色パターンの欠陥検査方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小西 淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993263120
Publication number (International publication number)：1995098282
Application date： Sep. 28, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 周期性着色パターン領域または略周期性着色パターン領域を有する試料(工業製品)の着色パターン領域の微細な白欠陥の欠陥検出感度を向上させた検出方法の提供【構成】 撮像手段によって撮像し、得られた画像信号に強調処理を施すことにより欠陥を検出する方法で、透過照明手段に暗視野光を用いる。
Claim (excerpt)：
周期性着色パターン領域もしくは略周期性着色パターン領域を有する試料に透過照明して観察される白欠陥を、撮像手段によって撮像し、得られた画像信号に強調処理を施すことにより欠陥を検出する自動検査方法において、透過照明手段に暗視野光を用いることを特徴とする着色パターンの欠陥検査方法。
IPC (2)：
G01N 21/88
, G02B 5/20 101
