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J-GLOBAL ID：200903026931248655

耐蝕性部材

Inventor： 牛越 隆介 ,  ▲昇▼ 和宏 ,  河畑 賢治
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992058727
Publication number (International publication number)：1993251365
Application date： Feb. 13, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 広い温度範囲に亘って、ハロゲン系腐蝕性ガスに対して耐久性のある耐蝕性部材を提供することである。【構成】 ClE3, NF3, CF4等のクリーニングガス、エッチングガス、WF6, SiH2Cl2等の成膜用ガスに対し、窒化アルミニウム焼結体を基材とする耐蝕性部材が、極めて腐蝕されにくい。この耐蝕性は、非酸化物系セラミックスであるα-SiC,β-SiC, Si3N4やサイアロン、カーボンと比較しても極めて顕著である。

Claim (excerpt)：

ハロゲン系腐蝕性ガスに暴露されるべき耐蝕性部材であって、窒化アルミニウム焼結体を基材とする耐蝕性部材。

IPC (3)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/22 ,  H05B 3/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-123094
  
• 特開昭63-140085