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J-GLOBAL ID：200903026932594972
電子ビーム装置及びその駆動方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991268356
Publication number (International publication number)：1993036369
Application date： Sep. 19, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ターゲット面上でビーム径をサブミクロン以下まで収束することができ、構成が単純で低価格とすることができ、重量を小さくすることが可能で、空間容量が小さく、特に高さが低く、制御・電源機器を収納するラック類の数も少なくてすみ、調整箇所も少なく、装置性能を出すための調整が簡単で、部品点数が少なく、高信頼性を有する電子ビーム装置を提供する。【構成】 電子源201からの電子ビーム203をターゲット204上に照射する電子ビーム装置において、平行又は実質的に平行に電子ビームを放出する電子源201とターゲット204との間に1枚の電極202が配置されており、該電極に所望の電位を与える電源207を備えている。電子ビーム203は電極202により加速されると共に最終収束されてターゲット204へ到達する。
Claim (excerpt)：
電子源からの電子ビームをターゲット面上に照射する電子ビーム装置において、平行又は実質的に平行に電子ビームを放出する電子源とターゲット配置位置との間に1枚の電極が配置されており、該電極に所望の電位を与える電源を備えていることを特徴とする電子ビーム装置。
IPC (4)：
H01J 37/073
, H01J 1/30
, H01J 37/305
, H01L 21/027
Cited by examiner (8)
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