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J-GLOBAL ID：200903026932980953

スピンコーティング用組成物

Inventor： 今里 彰秀 ,  山本 昌樹 ,  遠田 淳 ,  鳥海 傑
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994007732
Publication number (International publication number)：1995216305
Application date： Jan. 27, 1994
Publication date： Aug. 15, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ストライエーションがなく厚みが均一で、かつ表面が平坦なシリカ被膜を得る。【構成】 A.モノマー含有率が1%以下であるテトラアルコキシシランの部分加水分解物、B.アルコール系溶媒、C.水、D.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。

Claim (excerpt)：

A.モノマー含有率が1重量%以下であるテトラアルコキシシランの部分加水分解物B.アルコール系溶媒C.水D.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。

IPC (4)：

C09D183/02 PMN ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/316 ,  B05D 1/40

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-311781
  
• 特開平2-169668
  
• 特開平4-311781
  
• 特開平2-169668