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J-GLOBAL ID：200903026948686877

波長安定化光源装置

Inventor： 川島 浩幸 ,  大友 文夫 ,  斎藤 晋 ,  峯岸 功
Applicant, Patent owner： 株式会社トプコン
Agent (1)： 田辺 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992151133
Publication number (International publication number)：1993327105
Application date： May. 20, 1992
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構成で光源装置から出力される光の波長の安定化を実現する。【構成】 可干渉光を発する光源部1と、上記光源部1からの可干渉光を2つの光路に分けるビームスプリッター31と、ビームスプリッター31により分けられた一方の光路に配置され、かつ光軸方向に移動可能なスキャニングミラー35と、ビームスプリッター31により分けられた他方の光路に配置され、第1の光路長で反射させる第1反射面Aと第2の光路長で反射させる第2反射面Bを有する反射部34と、スキャニングミラー35からの可干渉光と上記第1反射面Aで反射した可干渉光との第1干渉信号を受光する第1受光部41と、スキャニングミラー35からの可干渉光と上記第2反射面Bで反射した可干渉光との第2干渉信号を受光する第2受光部42と、第1干渉信号と第2干渉信号との位相差を検出する位相検出部100と、上記位相検出部100の検出位相を一定の位相差に保つことにより、上記光源部1の波長を安定化させる波長安定化部10とを有することを特徴とする波長安定化光源装置。

Claim (excerpt)：

可干渉光を発する光源部(1)と、上記光源部(1)からの可干渉光を2つの光路に分けるビームスプリッター(31)と、ビームスプリッター(31)により分けられた一方の光路に配置され、かつ光軸方向に移動可能なスキャニングミラー(35)と、ビームスプリッター(31)により分けられた他方の光路に配置され、第1の光路長で反射させる第1反射面(A)と第2の光路長で反射させる第2反射面(B)を有する反射部(34)と、スキャニングミラー(35)からの可干渉光と上記第1反射面(A)で反射した可干渉光との第1干渉信号を受光する第1受光部(41)と、スキャニングミラー(35)からの可干渉光と上記第2反射面(B)で反射した可干渉光との第2干渉信号を受光する第2受光部(42)と、第1干渉信号と第2干渉信号との位相差を検出する位相検出部(100)と、上記位相検出部(100)の検出位相を一定の位相差に保つことにより、上記光源部(1)の波長を安定化させる波長安定化部(10)とを有することを特徴とする波長安定化光源装置。