2次元レーザ変位センサによるリードピンピッチ・平面度検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢島正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001220926
Publication number (International publication number)：2003035517
Application date： Jul. 23, 2001
Publication date： Feb. 07, 2003
Summary：

【要約】【課題】高集積密度ICや多接点スイッチなどの電子部品のリードピンを2次元レーザセンサによって光切断法に基づいて撮像し、該リードピンの平面度と取付けピッチを測定して、測定値が所定の公差内であるか否かを判定する。【解決手段】台座座標系におけるリードピン1.2の取付け座標と、取付けピッチと、平面度を算出し、これ等の算出値が所定の公差範囲内であるか否かを判定する装置を、投光部2と、固定台座1を所定の角度に回転する手段と、回転の振れを検出する検出センサ3と、スリット光照射ライン上の高さ情報を台座座標系に座標変換する手段と、リードピン1.2の取付け座標等を算出する手段と、算出した値が公差範囲内であるか否かを判定する手段によって構成する。

Claim (excerpt)：

固定台座を所定の角度に回転する一方、該固定台座に取付けたリードピンの外表面に対してレーザスリット光を斜めに照射して、このライン状の反射プロフィールを撮像し、その撮像画から像軸および2次元CCD素子に定義した基準座標系(X,Y,Z)におけるスリット光照射ライン上の高さ情報を光切断法に基づき検出すると共に、回転にともなう固定台座の上下方向の振れ量を少くとも3本の台座振れ検出センサで検出し、これ等検出した3組の台座振れ量と台座回転角度を用いて基準座標系(X,Y,Z)におけるスリット光照射ライン上の高さ情報を固定台座に定義した台座座標系(x,y,z)に座標変換して、台座座標系におけるリードピンの取付け座標と、取付けピッチと、平面度を算出し、これ等の算出値が所定の公差範囲内か否かを判定する装置であって、上記のリードピンに対しレーザスリット光を照射する投光部と、このレーザスリット光によって反射するリードピンの反射プロフィールを撮像するテレセントリックレンズと2次元CCD素子よりなる投光部の組と、固定台座を所定の角度に回転させる手段と、上記の撮像情報を画像メモリに保持し、これを光切断法に基づいて像軸方向をZ軸、2次元CCD素子のV方向及びH方向をそれぞれX軸、Y軸と定義した基準座標系における高さ情報として算出する手段と、回転にともなう固定台座の上下方向の振れ量を少くとも3本の台座振れ検出センサで検出する手段と、固定台座の回転角度と前記3組の台座振れ量から基準座標系(X,Y,Z)におけるスリット光照射ライン上の高さ情報を固定台座に定義した台座座標系(x,y,z)に座標変換する手段と、台座座標系におけるリードピンの取付け座標、取付けピッチ、平面度を算出する手段と、上記算出した値が所定の公差範囲内か否か判定する手段を備えることを特徴とする2次元レーザ変位センサによるリードピンピッチ・平面度検査装置。

IPC (4)：

G01B 11/00 , G01B 11/14 , G01B 11/30 101 , H01L 23/50

FI (4)：

G01B 11/00 H , G01B 11/14 H , G01B 11/30 101 A , H01L 23/50 C

F-Term (42)：

2F065AA02 , 2F065AA03 , 2F065AA04 , 2F065AA06 , 2F065AA07 , 2F065AA17 , 2F065AA20 , 2F065AA22 , 2F065AA24 , 2F065AA35 , 2F065CC25 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF04 , 2F065FF09 , 2F065FF42 , 2F065FF65 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL59 , 2F065PP13 , 2F065QQ03 , 2F065QQ13 , 2F065QQ14 , 2F065QQ18 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ28 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2F065RR05 , 5F067AA10 , 5F067AA12 , 5F067AA19 , 5F067AB03 , 5F067DB10

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