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J-GLOBAL ID：200903026950918653

遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor： 佐藤 健一郎 ,  水谷 一良
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小栗 昌平 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000047971
Publication number (International publication number)：2001235869
Application date： Feb. 24, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 半導体デバイスの製造において、高感度であって、0.15μm以下の高解像力を有し、しかも組成物溶液の経時保存安定性が良好なポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (A)特定構造を有する活性光線または放射線の照射により酸を発生するスルホニウム塩化合物、(B)主鎖に特定の構造の脂環式構造を有する繰り返し単位を含有し、酸の作用により分解しアルカリ水溶液に対する溶解性が増加する樹脂を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)一般式(PAG4)で表される活性光線または放射線の照射により酸を発生するスルホニウム塩化合物、(B)下記一般式(C1)及び(C2)で表される繰り返し単位より選択される少なくとも一種を含む、酸の作用により分解しアルカリ水溶液に対する溶解性が増加する樹脂を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】一般式(PAG4)中、Rs1〜Rs3は各々独立に、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基を示す。またRs1〜Rs3のうちの2つはそれぞれの単結合または置換基を介して結合してもよい。Z-は、対アニオンを表す。を表す。【化2】式中、Rc1〜Rc8は、同一でも異なってもよく、水素原子、置換基を有していてもアルキル基、置換基を有していてもよい環状炭化水素基、ハロゲン原子、シアノ基、カルボキシル基、-C(=O)-Y-A-Rc9、-C(=O)-Y-A-COO(CH2)2SiR'R''R'''、-COORc11、-COO(CH2)2SiR'R''R'''ただしRc1〜Rc4のうち少なくとも一つは-C(=O)-Y-A-COO(CH2)2SiR'R''R'''か-COO(CH2)2SiR'R''R'''のいずれかであり、同様にRc5〜Rc8のうち少なくとも一つは-C(=O)-Y-A-COO(CH2)2SiR'R''R'''か-COO(CH2)2SiR'R''R'''のいずれかである。R'、R''およびR'''は、同一でも異なってもよく、アルキル基、トリアルキルシリル基またはトリアルキルシリルオキシ基を表す。Yは、酸素原子、イオウ原子、-NH-、-NHSO2-、-NHSO2NH-から選ばれる2価の結合基、Rc9は、-COOH、-COORc10(Rc10はRc11の定義と同義および下記ラクトン構造)、-CN、水酸基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、-CONH-Rc11、-CONHSO2-Rc11または下記ラクトン構造を表す。【化3】Rc11は置換基を有していても良いアルキル基、置換基を有していても良い環状アルキル基を表す。Aは単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基またはウレアよりなる群から選択される単独あるいは2つ以上の基の組み合わせを表す。R29〜R36は、同じでも異なっていてもよく、水素原子または置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a、bはそれぞれ1または2を表す。

IPC (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08G 61/08 ,  C08K 5/42 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08G 61/08 ,  C08K 5/42 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (37)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB08 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC07 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA16 ,  2H025FA41 ,  4J002CE001 ,  4J002EV236 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J032CA33 ,  4J032CA34 ,  4J032CA35 ,  4J032CA36 ,  4J032CA46 ,  4J032CB03 ,  4J032CC03 ,  4J032CD03 ,  4J032CD07 ,  4J032CE03 ,  4J032CF01