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J-GLOBAL ID：200903026963358134

微粒子測定装置

Inventor： 林 利光 ,  一条 和夫 ,  近藤 郁 ,  松田 朋信
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社 ,  リオン株式会社
Agent (1)： 後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996070072
Publication number (International publication number)：1997259246
Application date： Mar. 26, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】 流体中の微粒子の数を測定する高感度の微粒子測定装置の提供。【解決手段】 第1及び第2の端面を有する固体レーザ媒質3と、第3及び第4の端面を有し、第1の端面と第3の端面との間にスペース13 ́を置いた状態に位置された固体レーザ媒質3 ́と、第2及び第4の端面にそれぞれ形成され、固体レーザ媒質3及び3 ́と協働して固体レーザ共振器を構成する反射コート部材4a及び4a ́と、スペース13 ́に流体を導くノズル13と、固体レーザ媒質3及び3 ́を励起する励起光を発生し、固体レーザ共振器に固体レーザ光を発振させる励起光源(1及び2)と、固体レーザ光がスペース13 ́における流体中の微粒子によって散乱されることによって生成された散乱光から微粒子の数を測定する測定回路(8a、8b、9a、9b、10)とを有する。

Claim (excerpt)：

流体中に含まれる微粒子の数を測定するために使用され、互いに対向する一対の端面を有する固体レーザ媒質と、前記一対の端面に面して位置され、前記固体レーザ媒質と協働して固体レーザ共振器を構成する一対の光反射部材と、前記固体レーザ共振器内に前記流体を導くガイド部材と、前記固体レーザ媒質を励起する励起光を発生し、前記固体レーザ共振器に固体レーザ光を発振させる励起光源と、前記固体レーザ光が前記固体レーザ共振器内における前記流体中の前記微粒子によって散乱されることによって生成された散乱光から前記微粒子の数を測定する測定回路とを含む微粒子測定装置において、前記固体レーザ媒質は、前記ガイド部材に連通しこのガイド部材から前記流体を供給される前記固体レーザ共振器内のスペースの少なくとも一部分を定める部分を有し、前記測定回路は、前記固体レーザ光が前記スペースにおける前記流体中の前記微粒子によって散乱されることによって生成された散乱光から前記微粒子の数を測定するものであることを特徴とする微粒子測定装置。

IPC (2)：

G06M 11/00 ,  G01N 15/14

FI (2)：

G06M 11/00 A ,  G01N 15/14 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-114145
  
• 特開昭63-153448