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J-GLOBAL ID:200903026976804290
液滴吐出装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
渡邉 一平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000337977
Publication number (International publication number):2002139370
Application date: Nov. 06, 2000
Publication date: May. 17, 2002
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 微小液滴吐出手段より実際に吐出された液滴量を精度良く且つリアルタイムに測定して、一滴毎の吐出量のバラツキや吐出の有無、及び、位置のズレを把握し、この液滴量の情報を液滴吐出手段へリアルタイムにフィードバックして液滴吐出手段より出される液滴量を制御したり、液滴の吐出位置を制御出来るようにすること。【解決手段】 電気信号が入力可能な液滴吐出手段2、及び微小質量が測定出来て且つ電気的に出力が可能な液滴定量手段5を用いて、装置稼働中に、一時的に実際に吐出された液の質量を測定し、この測定を任意の時に繰り返し行うことによって液滴吐出状態を把握し、その状態に基づく情報を液滴吐出手段2へフィードバックし、その情報に基づき液滴吐出を制御することで、達成出来る。
Claim (excerpt):
微小な液滴を吐出する液滴吐出装置であって、被吐出体へ吐出された液滴の質量を測定し、測定結果に基づいて測定信号を発生する、少なくとも1基の液滴定量手段と、前記測定信号と可変な基準値を示す信号とを比較し、比較結果に基づいて制御信号を発生するフィードバック制御手段と、前記制御信号に基づいて液滴の吐出量を調節する、少なくとも1基の液滴吐出手段とを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (4):
G01G 3/16
, B05C 11/10
, G01G 17/04
, B05C 5/02
FI (4):
G01G 3/16
, B05C 11/10
, G01G 17/04 Z
, B05C 5/02
F-Term (10):
4F041AA05
, 4F041AA16
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA34
, 4F042AA06
, 4F042AA27
, 4F042BA02
, 4F042BA21
, 4F042CB11
Patent cited by the Patent:
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