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J-GLOBAL ID：200903026978751134

薄膜トランジスタ生/化学センサ

Inventor： ドナルド・イー・アックリー ,  チャン-ロン・シェー
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 大貫 進介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996184231
Publication number (International publication number)：1997015198
Application date： Jun. 26, 1996
Publication date： Jan. 17, 1997
Summary：

【要約】【課題】 比較的安価に製造でき、非常に感度が高い生/化学センサを提供する。【解決手段】 化学センサ(10)は、薄膜トランジスタ(15)を含み、そのゲート(16)は一方側に配置されている。絶縁層(42)が対向側に配置され、指示膜(17)が、絶縁層(42)上に、ゲート(16)に対して全体的に対向する関係で配置されている。生物学的または化学的種によって発生される、指示膜(17)内の誘導電荷が、トランジスタ(15)内のチャネル電流を変化させる。更に、ゲート(16)上の電位を用いて、得られたチャネル電流の変化を打ち消す。この電流変化を打ち消すために用いられる電位は、誘導電荷の非常に高感度な測定値となる。

Claim (excerpt)：

化学センサであって:第1および第2対向側を有し、該第1側にゲート(16)が配置された薄膜トランジスタ(15);前記第2側に配置された絶縁層(42);および全体的に前記ゲート(16)に対して対向する関係で、前記絶縁膜(42)上に配置された指示膜(17);から成ることを特徴とする化学センサ。

FI (2)：

G01N 27/30 301 K ,  G01N 27/30 301 V