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J-GLOBAL ID：200903027001005929

イオンレーザ装置

Inventor： 進士 壽威
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 加藤 朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995276569
Publication number (International publication number)：1997097942
Application date： Sep. 29, 1995
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】複数の波長の光を同時に発振し、プラズマ収束用のソレノイドを有しているイオンレーザ装置において、特定波長の光の出力または分光比を一定に制御することを目的とする。【解決手段】イオンレーザ管1の出力光をビームスプリッタ5により光フィードバック用参照光7を取り出し、光フィードバック用参照光7をビームスプリッタ8により分割し、一方はその全体をモニタ信号として取出し全体の出力をイオンレーザ管の放電電流値により制御するフィードバック回路14と、もう一方の光を光学フィルタ15を用いて特定波長成分のみを取出し、特定波長成分の光の出力の全体の出力に対する比が一定となるようプラズマ収束用ソレノイドの電流値により制御するフィードバック回路19を有するイオンレーザ装置を構成し、常に一定出力、一定分光比の光出力を取り出すことができる。

Claim (excerpt)：

ガスレーザ媒体を封止したイオンレーザ管と、前記イオンレーザ管を両端に互いに対向して配設された一対の光共振器用ミラーと、前記イオンレーザ管の周囲に配設されたプラズマ収束用のソレノイドと、を有し、2波長以上の光を同時発振するイオンレーザ装置において、出力光を2つの成分に分割する波長セパレータを有し、出力光の全体又は特定波長域の成分を検出する第1のモニタ手段と、前記出力光の前記第1のモニタ手段に入力する成分とは異なる波長域の成分を検出する第2のモニタ手段と、を少なくとも含み、前記第1及び第2のモニタ手段でそれぞれ得られた第1及び第2の信号に対して所定の演算を行い、前記イオンレーザ管の放電電流と前記ソレノイドの電流とをそれぞれ制御するフィードバック制御手段と、を備えたことを特徴とするイオンレーザ装置。

IPC (3)：

H01S 3/134 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/105

FI (3)：

H01S 3/134 ,  H01S 3/10 Z ,  H01S 3/105