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J-GLOBAL ID：200903027001572548

微結晶膜およびその製造方法

Inventor： 佐々木 敏明 ,  龍治 真 ,  市川 幸美 ,  東海 正國
Applicant, Patent owner： 株式会社富士電機総合研究所 ,  川崎重工業株式会社
Agent (1)： 谷 義一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996294800
Publication number (International publication number)：1998139413
Application date： Nov. 07, 1996
Publication date： May. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 微結晶膜の製膜速度を高め、かつ結晶性を向上させる。【解決手段】 電子ビーム励起プラズマCVD法を用い、製膜中に原料ガスの供給量を第1の供給量から第2の供給量に増加させる。

Claim (excerpt)：

基板上に形成されたアモルファス中に多数の結晶粒が混在してなる微結晶膜において、平均結晶粒径が前記基板側で大きく、基板と反対側で小さい結晶粒径分布を有することを特徴とする微結晶膜。

IPC (5)：

C01B 33/02 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/205 ,  H01L 31/04

FI (5)：

C01B 33/02 E ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/205 ,  H01L 31/04 V