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J-GLOBAL ID：200903027010628203

ワイヤソーによるワーク切断方法及びワーク切断装置

Inventor： 増山 尚司 ,  渡辺 宣文
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 川澄 茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002156926
Publication number (International publication number)：2003340708
Application date： May. 30, 2002
Publication date： Dec. 02, 2003
Summary：

【要約】【課題】うねりが小さく厚さの均一なウェハを常に安定して得ることのできるワイヤソーによるワークの切断方法及び切断装置を得る。【解決手段】複数のローラ2、3、4間に螺旋状に巻回されたワイヤ5にワーク1を押し付けつつスラリーを供給しながらワイヤ5を走行移動させることによって、又は、複数のローラ2、3、4間に螺旋状に巻回された砥粒付きワイヤにワーク1を押し付けつつ、砥粒付きワイヤを走行移動させることによって、ワーク1をウェハ状に切断するに際し、切断抵抗に比例して増加する上記ローラ4を駆動させるモータ6の電力量を所定時間経過毎に検出し、その検出の都度、検出値に基づいてワーク1の押し付け速度を加減し、上記電力量が一定になるように制御する。

Claim (excerpt)：

複数のローラ間に螺旋状に巻回されたワイヤにワークを押し付けつつ、ワークとワイヤとの接触部に砥粒を含むスラリーを供給しながらワイヤを走行移動させることによって、ワークをウェハ状に切断する切断方法において、前記ローラを駆動させるモータの電力量を所定時間経過毎に検出し、その検出の都度、検出値に基づいて前記ワークの押し付け速度を加減し、前記電力量が一定になるように制御することを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。

IPC (2)：

B24B 27/06 ,  B24B 49/16

FI (2)：

B24B 27/06 F ,  B24B 49/16

F-Term (13)：

3C034AA19 ,  3C034BB91 ,  3C034CA16 ,  3C034CB01 ,  3C034DD10 ,  3C058AA05 ,  3C058AA12 ,  3C058AB01 ,  3C058BA01 ,  3C058BA06 ,  3C058CB01 ,  3C058DA03 ,  3C058DA17