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J-GLOBAL ID：200903027024504582

微細光学ガラス素子の成形用金型及びその製造方法

Inventor： 梅谷 誠 ,  片岡 秀直 ,  柏木 吉成
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993170118
Publication number (International publication number)：1995025628
Application date： Jul. 09, 1993
Publication date： Jan. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 高精度の信頼性の高いガラス製微細光学素子をプレス成形法により得るために必要な高精度で耐久性の良いプレス成形用金型を提供する。【構成】 予め微細光学素子形状に高精度に加工した微細光学素子原盤11の反転形状を薄膜12に写し取った後、該薄膜12の裏面ならびに金型母材14の表面に、SiあるいはSiO2薄膜13を形成し、それぞれに親水性を持たせた後、両面同志を接合し、金型全体に保護膜15を形成することを特徴とする微細光学ガラス素子のプレス成形用金型の作製方法並びに作製した金型。【効果】 微細光学素子形状の反転形状を持つ、ガラスを繰り返しプレス成形できる微細光学素子用金型が容易に得られるようになる。

Claim (excerpt)：

予め高精度に加工した微細光学素子原盤の表面に薄膜を形成し、微細光学素子の反転形状を複写した該薄膜を微細光学素子原盤より精密に剥離し、該薄膜の裏面に珪素(Si)あるいは二酸化珪素(SiO2)からなる薄膜を形成したものと、同様にタングステンカーバイド(WC)を主成分とする超硬合金、チタンカーバイド(TiC)あるいはチタンナイトライド(TiN)を主成分とするサーメットまたはWC焼結体からなる型母材の表面にSiあるいはSiO2からなる薄膜を形成したものを接合し、型全体に白金(Pt)、ロジウム(Rh)、イリジウム(Ir)、ルテニウム(Ru)、オスミウム(Os)、タングステン(W)、パラジウム(Pd)、レニウム(Re)およびタンタル(Ta)の中から少なくとも1種類以上含有する合金膜を保護層として形成して構成されることを特徴とする微細光学ガラス素子の成形用金型。

IPC (3)：

C03B 11/08 ,  C03B 11/00 ,  C03B 40/02