Pat

J-GLOBAL ID：200903027033217014

回折光学装置及びこれを用いた露光装置

Inventor： 竹内 誠二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996303901
Publication number (International publication number)：1998133150
Application date： Oct. 29, 1996
Publication date： May. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】 簡易な構成で回折光学素子の形状を制御できて、該回折光学素子を含む光学系の光学特性を制御できる回折光学装置及びこれを用いた露光装置を得ること。【解決手段】 回折光学素子と形状変化手段を有し、該形状変化手段により該回折光学素子の形状を変える。

Claim (excerpt)：

回折光学素子と形状変化手段を有し、該形状変化手段により該回折光学素子の形状を変えることを特徴とする回折光学装置。

IPC (4)：

G02B 27/42 ,  G02B 5/18 ,  G02B 7/02 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G02B 27/42 ,  G02B 5/18 ,  G02B 7/02 A ,  H01L 21/30 515 D