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J-GLOBAL ID：200903027047631280

隣接チツプの比較によるウエハ異物検査方式

Inventor： 神宮 孝広
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991228831
Publication number (International publication number)：1993047885
Application date： Aug. 14, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 隣接チップの比較方式による異物検査装置において、両端チップの検査漏れを防止する検査方式を提供することを目的とする。【構成】 レーザビームの走査がXの正方向(LR)のとき、X方向のチップ列11Xの最前位(A)とその次位の(B)のチップの差分データの極性を反転し、走査がXの負方向のとき、チップ列の最後位(N)とその前位(M)のチップの差分データの極性を反転し、正極の閾値Vthに比較して最前位(A)および最後位(N)の両端チップの異物をそれぞれ検出する。【効果】 チップ列の両端以外の中間のチップ(B)〜(M)は従来通り、後位と前位のチップの検出データの+極の差分データを正極の閾値Vthに比較して異物が検出され、両端のチップに対しては、その差分データの極性を-に反転することにより、レーザビームの走査方向に拘らず正極性の閾値Vthで異物が検出され、漏れなくすべてのチップについて検査がなされる。

Claim (excerpt)：

ウエハの表面に形成された同一パターンを有する複数のICチップを検査対象とし、該ウエハをアライメントした後、X方向のICチップ列に対してレーザビームをXの正方向および負方向に順次に往復の走査をなし、互いに隣接した2個の前記ICチップのうち、前位のICチップに対する検出データをメモリに記憶し、該記憶された検出データから後位のICチップに対する検出データを差し引いた差分データを、正極の閾値に比較して前記各ICチップの異物を逐次に検出する異物検査装置において、前記走査がXの正方向のとき、前記X方向のICチップ列の最前位と該最前位につづく次位のICチップの差分データの極性を反転し、前記正極の閾値に比較して該最前位のICチップの異物を検出し、前記走査がXの負方向のとき、前記チップ列の最後位と該最後位の前位のICチップの差分データの極性を反転し、前記正極の閾値に比較して該最後位のICチップの異物を検出することを特徴とする、隣接チップの比較によるウエハ異物検査方式。

IPC (4)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/68 ,  H01S 3/00