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J-GLOBAL ID：200903027048767541

イオン性ガス分析機

Inventor： 中野 寿夫 ,  真山 晃一 ,  山本 修 ,  椎葉 至 ,  川▲崎▼ 浩 ,  大川 直之 ,  倉持 利昭 ,  槙 恵美子 ,  尾手 幸秀
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992249907
Publication number (International publication number)：1994130015
Application date： Sep. 18, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 吸気ガス中の希薄イオン性ガスを高感度かつ高精度で分析する。【構成】 イオン性ガスを含む気体の吸気系1と排気系4と、この吸気系と排気系の途中で前記吸気されたイオン性ガスを含む気体に水蒸気を混合する水蒸気混合系2と、水蒸気を前記イオン性ガスを含む気体と共に冷却して凝縮液を生成する凝縮器3と、凝縮液を受ける凝縮液回収溜6と、電気伝導度検出セル14からなるイオン検出系と、凝縮液を検出器へ送液する送液系11と、水蒸気混合器と冷却凝縮器に純水を導入する純水導入系17とを設けた。【効果】 分析再現性と応答性を向上した精密分析が可能となる。

Claim (excerpt)：

イオン性ガスを含む気体の吸気系と排気系と、この吸気系と排気系の途中で前記吸気されたイオン性ガスを含む気体に水蒸気を混合する水蒸気混合系と、前記水蒸気を前記イオン性ガスを含む気体と共に冷却して凝縮液を生成する冷却凝縮器と、前記凝縮液を受ける凝縮液回収溜と、イオンを検出するイオン検出系と、前記凝縮液を前記イオン検出系へ送液する送液系とを備えたイオン性ガス分析機において、前記イオン検出系の前段にイオン分離カラムを設けると共に、前記イオン検出系を電気伝導度検出セルで構成したことを特徴とするイオン性ガス分析機。

IPC (4)：

G01N 27/06 ,  G01N 27/28 ,  G01N 27/416 ,  G01N 30/00