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J-GLOBAL ID：200903027073741336

構造体

Inventor： 林 雅秀 ,  小出 晃 ,  海老根 広道
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993185816
Publication number (International publication number)：1995045484
Application date： Jul. 28, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、構造体を識別するためのナンバリング方法を等方性,異方性を問わないエッチング等で形成することにある。【構成】上記目的を達成するために、2進法ナンバリング用の枠を必要桁数分だけ形成し、その枠内を抜き(1:エッチングする領域)と白抜き(0:エッチングしない領域)の区別でナンバリングすることにより達成される。

Claim (excerpt)：

シリコン基板を加工した構造体において、ウエハ内に形成されたチップ位置を識別するために2進法を用いて各チップにナンバリングしたことを特徴とした構造体。