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J-GLOBAL ID：200903027105698225

走査型近接場光学顕微鏡用のカンチレバーとその製造方法及び走査型近接場光学顕微鏡

Inventor： 渡辺 俊二 ,  山田 啓文
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998176802
Publication number (International publication number)：2000009627
Application date： Jun. 24, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 製造が容易な構造を有する探針を備えた走査型近接場光学顕微鏡用のカンチレバーとその製造方法を提供し、かつエバネッセント波を探針が捕捉して発生する伝播光のS/N比低下が防止され、しかも試料の形状情報と分離した試料の光学的情報のみを得ることができる走査型近接場光学顕微鏡を提供すること。【解決手段】 底面が開口した中空の錐体状探針を先端部に備え、変位量(撓み量)検出のために、圧電膜もしくは圧力に応じて抵抗値が変化する膜と一対の電極膜とが少なくともプレート(レバー)部分に設けられ、前記錐体状探針の少なくとも頂点部分及びその近傍領域には前記圧電膜、抵抗値が変化する膜及び電極膜が設けられていない走査型近接場光学顕微鏡用のカンチレバー。

Claim (excerpt)：

底面が開口した中空の錐体状探針を先端部に備え、変位量(撓み量)検出のために、圧電膜もしくは圧力に応じて抵抗値が変化する膜と一対の電極膜とが少なくともプレート(レバー)部分に設けられ、前記錐体状探針の少なくとも頂点部分及びその近傍領域には前記圧電膜、抵抗値が変化する膜及び電極膜が設けられていない走査型近接場光学顕微鏡用のカンチレバー。

FI (2)：

G01N 37/00 E ,  G01N 37/00 D