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J-GLOBAL ID：200903027111727970
赤外線センサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤谷 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993342555
Publication number (International publication number)：1995167708
Application date： Dec. 13, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：
【要約】【目的】感度低下や面積増加をまねくことなく、内部応力により自己破壊をおこさない受光メンブレンを有する赤外線センサを提供すること。【構成】図1は、赤外線センサの受光メンブレン2を上面から見た図と破線部A-A の断面図で、従来と異なり、梁1が受光メンブレン2領域内部に支持点を有するように形成してある。支持部位が、受光メンブレン内部であると、残留応力が少なくなり、該センサの破壊が防止される。梁の支持部位は、受光メンブレンの裏側でもよい。
Claim (excerpt)：
薄膜に形成され感温素子を含んだ赤外線の受光部と、該受光部を断熱的に支える梁と、該梁を支える基板とを備えて成る赤外線センサにおいて、前記梁の受光部側の支持部位が、該受光部の内部領域位置に設けられたことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2)：
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