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J-GLOBAL ID：200903027124496170

光学的異方性測定装置、光学的異方性測定方法、及び該光学的異方性測定装置を用いた液晶デバイスの製造方法

Inventor： 大嵜 美紀 ,  鈴木 隆史
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 近島 一夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996013388
Publication number (International publication number)：1997105704
Application date： Jan. 29, 1996
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】被検体の光学的異方性を所望の微小領域で精密に測定できるようにする。【解決手段】He-Neレーザ装置1から出射された入射光束(平行光束)Aは、偏光子2により直線偏光され入射光学系(凸レンズ)101によって、球欠ガラス3の平面部3a上に屈折率マッチング液91を介して載置された被検体である液晶セル92の測定領域近傍に収束されることにより、微小領域での光学的異方性を精密に測定できる。

Claim (excerpt)：

平面部及び曲面部を有し、前記平面部上に被検体が設置される透明部材と、前記透明部材の曲面部の第1の領域に対向し、且つ出射される光束が、前記第1の領域から前記曲面部内を通過して前記被検体の前記平面部と接する外表面近傍に到達するように配置された光源と、前記光源と前記透明部材の曲面部の第1の領域との間の光路上に配置した前記光束を偏光させる偏光子と、前記光源と前記透明部材の曲面部の第1の領域との間の前記光路上に配置した入射光学系と、前記透明部材の曲面部の第2の領域に対向し、且つ前記光源から出射される前記光束を前記被検体の外表面近傍で全反射させ、前記曲面部内を通過して到達する前記光束の反射光を検知する光検出器と、前記光検出器と前記透明部材の曲面部の第2の領域との間の前記光束の光路上に配置した前記光束を偏光させる検光子と、を少なくとも有し、前記偏光子で偏光された前記光束を前記被検体の前記平面部側の外表面近傍で全反射させ、全反射された前記光束を前記検光子を通して前記光検出器に入射して、前記光検出器で前記光束の偏光状態の変化を検出することによって前記被検体の光学的異方性を測定する、ことを特徴とする光学的異方性測定装置。

IPC (3)：

G01M 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G01N 21/21

FI (3)：

G01M 11/00 T ,  G01B 11/26 Z ,  G01N 21/21 Z