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J-GLOBAL ID：200903027142631076

BaTiO3配向膜の製造方法

Inventor： 神垣 耕世 ,  永仮 尚謙 ,  ウエイ ウエイ
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994315048
Publication number (International publication number)：1996169800
Application date： Dec. 19, 1994
Publication date： Jul. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明はゾルゲル法を用いて、少なくとも一つの結晶軸を優先配向させたBaTiO3 配向膜を、屈折率の小さい透明な酸化物単結晶基板上に得る。【構成】ゾルゲル法によりBaTiO3 薄膜を製造する際、バリウム(Ba)とチタン(Ti)の複合アルコキシド溶液を4倍量以上、10倍量未満の水添加により加水分解処理したものを塗布溶液とし、該塗布溶液を基板に塗布した後、加熱乾燥して熱分解し、続いて700°C以上の温度で熱処理して結晶化させる。

Claim (excerpt)：

バリウム(Ba)とチタン(Ti)の複合アルコキシドから成る溶液を基板表面に塗布、乾燥を繰り返して被覆した後、バリウム(Ba)とチタン(Ti)を含む複合酸化物の結晶化温度以上の温度で焼成するBaTiO3薄膜の製造方法において、前記溶液をバリウム(Ba)とチタン(Ti)の複合アルコキシドに、該複合アルコキシドの全金属モル数の4倍量以上、10倍量未満の水を添加し、加水分解して調製することを特徴とするBaTiO3 配向膜の製造方法。

IPC (5)：

C30B 29/32 ,  C01B 13/32 ,  C30B 7/14 ,  G02F 1/055 501 ,  H01B 3/12 303