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J-GLOBAL ID：200903027152648147
エッチング液再生装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995109309
Publication number (International publication number)：1996302487
Application date： May. 08, 1995
Publication date： Nov. 19, 1996
Summary：
【要約】【目的】長期間メンテナンスフリーのまま、エッチング液/再生ガスの高い反応効率が確保でき、かつサンプリング採取したエッチング液の劣化度合を精度よく測定して継続的に運転制御が行えるエッチング液再生装置を提供する。【構成】エッチング液再生装置の系内に、オゾン発生器8,塔内にラシヒリングなどの充填物16を装填した再生反応塔6,オゾン化ガス給気手段としてのエジェクタ15,エッチング液劣化センサとしての光電光度計17,および運転制御部14を備え、エッチング装置の液槽1からサンプリング採取したエッチング液の色,吸光度を光電計により測定してエッチング液の劣化度合を判定し、その判定を基にオゾン発生器を運転制御し、ここで生成したオゾン化ガスをエジェクタを通じてエッチング液に吹き込んで充填物内蔵の反応塔に送り込み、エッチング液/再生ガスの接触反応により劣化したエッチング液を再生させる。
Claim (excerpt)：
塩化第二銅液,または塩化第二鉄液などの酸性エッチング液を対象に、劣化したエッチング液に再生ガスとしてオゾン化ガスを吹き込み、その接触反応によりエッチング液を再生させるエッチング液再生装置であり、系内にオゾン発生器と、再生反応塔と、オゾン発生器で生成したオゾン化ガスを再生反応塔内に送り込む再生ガス給気手段と、エッチング液の劣化度合を測定する測定手段と、および該測定手段の測定データを基にオゾン発生器の運転を制御する制御手段を備えたものにおいて、再生ガス給気手段としてオゾン化ガスを被再生エッチング液の液中に吹き込んで再生反応塔へ送り込むエジェクタを用いるとともに、再生反応塔内にはラシヒリング,不織布などの充填物を装填したことを特徴とするエッチング液再生装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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