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J-GLOBAL ID：200903027194606231

静電ウエーハチャック用プレート

Inventor： 菊地 誠
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992264001
Publication number (International publication number)：1994120328
Application date： Oct. 02, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高純度で、非発塵性、耐熱性、非熱変形、温度分布の均一性、耐熱衝撃性、耐酸化性に優れ、また、腐食性ガスによる耐食性にも優れる静電ウエーハチャック用プレートを提供する。【構成】 電極部分2となる高純度のガラス状炭素に炭化珪素を被覆し、所望の形状に加工してなる静電ウエーハチャック用プレート1。

Claim (excerpt)：

電極部分となる高純度のガラス状炭素に炭化珪素を被覆し、所望の形状に加工してなる静電ウエーハチャック用プレート。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00