アルカリ可溶型レジスト用組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小田島平吉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997163503
Publication number (International publication number)：1998069081
Application date： May. 17, 1988
Publication date： Mar. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】耐熱性、耐薬品性に優れたレジスト膜を与えるアルカリ可溶型レジスト用組成物を提供すること。【解決手段】酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応物、有機溶剤及び/又は重合性ビニルモノマー、光重合開始剤、及び必要に応じて色素を含んでなるアルカリ可溶型レジスト用組成物。

Claim (excerpt)：

酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応物、有機溶剤及び/又は重合性ビニルモノマー、光重合開始剤、及び必要に応じて色素を含んでなるアルカリ可溶型レジスト用組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 503 , C08F290/12 , G03F 7/027 515 , H05K 3/00 , C08F 8/14

FI (5)：

G03F 7/038 503 , C08F290/12 , G03F 7/027 515 , H05K 3/00 F , C08F 8/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭50-010887
特開昭63-035609
特開平1-289820

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