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J-GLOBAL ID：200903027236443192

導波路型光フィルタの作製方法

Inventor： 伊藤 真澄 ,  稲井 麻紀 ,  榎本 正 ,  井上 享 ,  岩島 徹
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995089154
Publication number (International publication number)：1996286021
Application date： Apr. 14, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 広い波長幅にわたって光を十分に反射することのできる導波路型光フィルタの作製方法を提供する。【構成】 まず、複数個の位相格子が直列に順次形成されたマスクを用意し、複数の位相格子の形成方向と光伝搬方向を一致させて光導波路を設置する。次に、マスクを介して、光導波路に干渉紫外光を照射して、光軸に沿って屈折率が周期的に変化している複数のグレーティングを形成する。各グレーティングの中心波長λ0 や主反射帯の波長幅Δλを適切に設定することにより、広い波長幅にわたって高反射率の反射帯を有する導波路型光フィルタを得る。

Claim (excerpt)：

複数個の位相格子が直列に順次形成されたマスクを用意し、複数の前記位相格子の形成方向と光軸とを一致させて光導波路を設置する第1の工程と、前記マスクを介して、前記光導波路に干渉紫外光を照射して、前記光軸に沿って屈折率が周期的に変化している複数のグレーティングを同時に形成する第2の工程と、を備えることを特徴とする導波路型光フィルタの作製方法。

IPC (3)：

G02B 5/20 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/00 306

FI (3)：

G02B 5/20 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/00 306