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J-GLOBAL ID:200903027255587600
混合方法、混合装置、及び該混合装置を用いた検査装置
Inventor:
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,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
青山 葆 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001391884
Publication number (International publication number):2003190751
Application date: Dec. 25, 2001
Publication date: Jul. 08, 2003
Summary:
【要約】【課題】 撥水バルブを用いて待機させた2液を、タイミングよく合流させ、かつ層流で混合させることができる混合方法、混合装置、及び該混合装置を用いた検査装置を提供する。【解決手段】 混合方法は、合流点29より上流側で、第1液の先端と第2液の先端とをそれぞれ第1撥水バルブ27aと第2撥水バルブ27bとで保持する第1ステップと、第1撥水バルブ27aと第2撥水バルブ27bとが第1液の先端と第2液の先端とをそれぞれ保持する第1保持力と第2保持力のいずれよりも大きな第1圧力で、合流点29より下流側から第1液と第2液とを吸引する第2ステップと、第1圧力より小さい第2圧力で、合流点29より下流側から第1液と第2液とを吸引する第3ステップとを備える。
Claim (excerpt):
第1液と第2液とを吸引し、合流させて混合する混合方法であって、合流点より上流側において、第1液の先端を第1撥水バルブで、第2液の先端を第2撥水バルブで、それぞれ保持する第1ステップと、上記第1撥水バルブが第1液の先端を保持する第1保持力と、上記第2撥水バルブが第2液の先端を保持する第2保持力とのいずれよりも大きな第1圧力で、上記合流点より下流側から第1液と第2液とを吸引する第2ステップと、上記第1圧力より小さい第2圧力で、上記合流点より下流側から第1液と第2液とを吸引する第3ステップとを備えたことを特徴とする、混合方法。
IPC (7):
B01F 3/08
, B01F 5/00
, B01F 15/00
, B01J 19/00
, G01N 35/02
, G01N 35/08
, G01N 37/00 101
FI (7):
B01F 3/08 Z
, B01F 5/00 A
, B01F 15/00 Z
, B01J 19/00 Z
, G01N 35/02 D
, G01N 35/08 A
, G01N 37/00 101
F-Term (22):
2G058DA01
, 2G058DA07
, 2G058EA14
, 2G058EC07
, 2G058FA07
, 2G058GA02
, 4G035AB36
, 4G035AC50
, 4G035AE02
, 4G035AE19
, 4G037DA18
, 4G037EA01
, 4G075AA13
, 4G075AA39
, 4G075AA65
, 4G075BB05
, 4G075BB10
, 4G075EE12
, 4G075FA01
, 4G075FB01
, 4G075FB06
, 4G075FC20
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