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J-GLOBAL ID：200903027267512672

微小装置の製造方法

Inventor： 加藤 真希子 ,  岩崎 靖和 ,  内山 誠
Applicant, Patent owner： 日産自動車株式会社
Agent (1)： 中村 純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994145845
Publication number (International publication number)：1996018069
Application date： Jun. 28, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】キャビティ部の汚染あるいは可動部の損傷を生じることなく微小装置を得ることのできる、安価で信頼性の高い微小装置の製造方法を提供すること。【構成】上記目的は、キャビティ部あるいは可動部を有する微小装置の製造において、(1) 上記のキャビティ部あるいは可動部を有する微小装置の構成材料と濡れ性の良い溶剤を用いて常温・常圧で固体の昇華性物質を溶解し、該昇華性物質溶液を上記キャビティ部あるいは可動部に塗布する工程と、(2)加熱ないしは冷却の熱処理によって、上記可動部あるいは可動部に上記昇華性物質を充填する工程と、(3) 昇華により、上記昇華性物質を除去する工程とを含む微小装置の製造方法とすることによって達成することができる。

Claim (excerpt)：

キャビティ部あるいは可動部を有する微小装置の製造において、下記工程を含むことを特徴とする微小装置の製造方法。(1) 上記のキャビティ部あるいは可動部を有する微小装置の構成材料と濡れ性の良い溶剤を用いて常温・常圧で固体の昇華性物質を溶解し、該昇華性物質溶液を上記キャビティ部あるいは可動部に塗布する工程、(2)加熱ないしは冷却の熱処理によって、上記キャビティ部あるいは可動部に上記昇華性物質を充填する工程、(3) 昇華により、上記昇華性物質を除去する工程。