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J-GLOBAL ID:200903027300706739

軟磁性合金薄膜

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994057890
Publication number (International publication number):1995268610
Application date: Mar. 28, 1994
Publication date: Oct. 17, 1995
Summary:
【要約】【目的】 本発明は、飽和磁束密度が高く、保磁力が低く、透磁率が高く、高周波帯域における透磁率が高い軟磁性合金薄膜を提供することを目的とする。【構成】 本願発明は、体心立方構造のFeを主成分とする平均結晶粒径10nm以下の微細結晶相と、希土類金属元素およびTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Wの群から選択される少なくとも1種の元素Mと、Nの化合物を主成分とする非晶質相からなり、前記非晶質相が組織の少なくとも50%以上を占めてなるものである。
Claim (excerpt):
体心立方構造のFeを主成分とする平均結晶粒径10nm以下の微細結晶相と、希土類金属元素およびTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Wの群から選択される少なくとも1種の元素Mと、Nの化合物を主成分とする非晶質相からなり、前記非晶質相が組織の少なくとも50%以上を占めてなることを特徴とする軟磁性合金薄膜。
IPC (4):
C23C 14/14 ,  C22C 38/00 303 ,  C22C 45/02 ,  H01F 10/14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開平4-083313
  • 特開平4-006809
  • 特開平2-290004
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