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J-GLOBAL ID:200903027303372092

移動ウエブを高速走査する照射器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993118285
Publication number (International publication number):1994034571
Application date: May. 20, 1993
Publication date: Feb. 08, 1994
Summary:
【要約】【目的】 高速で移動するウエブを検査するための効果的で均質な直線状照射器を提供する。【構成】 内表面の主要部分に長さ方向に延びる反射性のフレネルリングファセット60即ち溝を設けた長尺のガラス管50と、フレネルリングファセット60が形成されていない内表面に隣接して長尺の円筒の内側に位置しレンズ素子92、94が含まれる長尺で円筒状のレンズアセンブリ90と、ガラス円筒の略長さ全体にわたり軸方向に延びる長尺のスリット散光器98に対してレンズアセンブリ90を長尺の円筒内に位置決めするための鏡のような表面を有する円筒状保護ハウジング70と、円筒内に配設されて散光器スリットと平行に延びる長尺の直線状ランプと、を備えている。
Claim (excerpt):
シート材を検査して表面の瑕疵を識別するための照射システムであって、前記システムは、照射輝線を、この照射輝線を通過して移動可能に支持されたシート材上に、供給するように構成され、前記システムは、このシステム内の光路に沿って光線を供給する光源と、前記光源からの光を受け取り、ウエブの表面上に照射輝線を生成するために、前記光路に沿って位置する集光・焦点・分布の円筒と、を備え、前記円筒は、入射する光の反射、長さ方向の分布、及び焦点機能を強化するための内面処理を施した長尺の光積分空洞と、照射輝線をウエブ上に集光して導くために、前記光積分空洞の内側に取り付けた長尺のレンズアセンブリと、前記光積分空洞の内表面から反射した光を受け取り、光を前記レンズアセンブリまで導く光源に向けて生じる瑕疵を抑制するために、前記レンズアセンブリに対して長さ方向に延びる散光手段と、を備えたことを特徴とする照射システム。

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