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J-GLOBAL ID：200903027319126571

検査装置のレンズ電圧設定方法及び検査装置

Inventor： 竹越 秀和 ,  浜島 宗樹
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐野 弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997091422
Publication number (International publication number)：1998269982
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 二次光学系のレンズ条件を容易に最適設定でき、かつ必要に応じて最適値からのズレを補正し、長期的な変動にも常に安定したレンズ条件で使用することのできる検査装置のレンズ電圧設定方法及び検査装置を提供する。【解決手段】 一次コラム1から出射された一次照射ビーム2を試料4に照射し、該試料4から発生した電子5を、二次光学系7に設けられた多数のレンズ9,10,11,12を介して検出器8に結像させる検査装置において、前記多数のレンズ...の間で、前記試料4から発生した電子の結像位置に、挿脱可能にフィールドアパーチャ14を配設し、該フィールドアパーチャ14にはフィールド孔14a,14b及びメッシュ部14c,14dを設け、該フィールドアパーチャ14を可動させることにより、前記フィールド孔14a,14bとメッシュ部14c,14dとを切換可能とし、該メッシュ部14c,14dを選択してこの像を検出器8に結像させ、該メッシュ画像から、前記メッシュ部14c,14dより後側のレンズ11,12のレンズ条件を検出可能とした。

Claim (excerpt)：

電子銃から出射された一次照射ビームを一次光学系を介して試料に照射し、該試料から発生した電子を多数のレンズを介して検出器に結像させる検査装置における、前記レンズのレンズ電圧を設定する方法において、前記多数のレンズの間で、前記試料から発生した電子の結像位置に、第1パターンを挿入し、任意のレンズ電圧における該第1パターンの像を前記検出器に結像させ、該第1パターン画像から、前記第1パターンより後側のレンズのレンズ条件を検出することを特徴とする検査装置のレンズ電圧設定方法。

IPC (3)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/28

FI (3)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/28 B