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J-GLOBAL ID：200903027320043272

微小領域熱物性測定装置

Inventor： 羽鳥 仁人 ,  湯本 志郎 ,  大槻 哲也 ,  佐伯 潤一
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団 ,  株式会社ベテル
Agent (1)： 中野 佳直
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000192627
Publication number (International publication number)：2002005860
Application date： Jun. 27, 2000
Publication date： Jan. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】 装置を小型化すると共に、ステージに載置した試料の測定上の位置合わせを簡単かつ正確にできること。【解決手段】 XYステージ上に載置した試料3をCCDカメラで撮影し、その試料表面画像22をモニタに表示する。試料に付した2つのマーキング20,21をクリックしてそれぞれの座標を記録する。交流変調した加熱用レーザビームを試料表面に集光加熱し、それと同一位置に測温用レーザビームを集光する。そのときの反射光の強度を測定する。試料をXYステージから取外し成膜処理を施した後、XYステージ上の任意の場所に載置し、再び試料のマーキングをクリックしてそれぞれの座標を読み取る。成膜後のマーキングの座標と成膜前のマーキングの座標を比較し、試料の角度及び位置の変化を演算し位置合わせを行う。その後成膜前と同様の方法で反射光の強度を測定することにより、成膜前に選択した測定位置と同じ場所の測定を成膜後に行うことができる。

Claim (excerpt)：

試料を載置するステージと、前記ステージ上の試料の表面又は裏面に照射し加熱する為に、正弦波を振幅変調した加熱用レーザビームを発する加熱用レーザと、前記加熱用レーザの照射により加熱した試料表面に照射する測温用レーザビームを発する測温用レーザと、前記両レーザビームの光軸を試料面に対しほぼ一致させて集光させる顕微鏡光学系と、前記測温用レーザビームの照射後における試料表面の温度変化をサーモリフレクタンス信号として捉える光ディテクタと、前記顕微鏡光学系を介して試料表面を撮影するCCDカメラと、前記光ディテクタから取り込んだサーモリフレクタンス信号に基づいて試料の熱物性値を算出すると共に、前記CCDカメラにて撮影した試料表面画像の表示制御および該試料表面画像に従って試料の位置合わせ制御を行うコンピュータと、前記コンピュータの処理結果をモニタリングすると共に、試料表面画像に従って試料の位置情報を前記コンピュータに入力する表示手段と、を備えていることを特徴とする微小領域熱物性測定装置。

IPC (5)：

G01N 25/18 ,  G01B 11/00 ,  G01J 5/00 ,  G01J 5/58 ,  G12B 5/00

FI (5)：

G01N 25/18 H ,  G01B 11/00 H ,  G01J 5/00 D ,  G01J 5/58 ,  G12B 5/00 T

F-Term (32)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA39 ,  2F065BB27 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065RR05 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB10 ,  2F078CB12 ,  2F078CC07 ,  2G040AA01 ,  2G040AB08 ,  2G040CA01 ,  2G040CA23 ,  2G040DA05 ,  2G040DA06 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040HA02 ,  2G066AA01 ,  2G066AC07 ,  2G066CA11 ,  2G066CA16