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J-GLOBAL ID：200903027372209403
露光装置の照明光学系
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田辺 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996142341
Publication number (International publication number)：1997304940
Application date： May. 14, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：
【要約】【課題】 球面状のコリメートミラーを用いて、歪曲収差の少ない高精度の露光が可能な露光装置の照明光学系を提供する。【解決手段】 照明光源からの露光光の光束を多角形状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスク15のパターン16を被転写物体18に転写する露光装置の照明光学系において、前記コリメートミラー30の少なくとも一辺の中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変形によって撓ませ、該撓みを利用して前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。
Claim (excerpt)：
照明光源からの露光光の光束をコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、前記コリメートミラーの少なくとも一辺の中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変位によって撓ませ、該撓みを利用して前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。
IPC (2)：
FI (2)：
G03F 7/20
, H01L 21/30 527
