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J-GLOBAL ID：200903027382721234

走査型光顕微鏡

Inventor： 戸田 明敏
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997068607
Publication number (International publication number)：1998267945
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】試料の光学情報を強く反映したプローブ先端付近の散乱光のみを高精度に検出する。【解決手段】試料2の表面を走査する探針を有するカンチレバー8と、SNOM測定用の照明光M1を試料表面に照射可能なSNOM照明ユニット68と、試料の光学情報を検出可能なSNOM検出ユニット70とを備えており、SNOM検出ユニットには、探針の走査中に発生する散乱光を検出可能な光検出手段と、この光検出手段の出力信号から探針の先端近傍以外の散乱光に対応した信号成分を除去する信号処理手段とが設けられている。

Claim (excerpt)：

試料の表面を走査する探針を有するカンチレバーと、照明光を前記試料の表面に照射可能な照明ユニットと、前記試料の光学情報を検出可能な検出ユニットとを備えており、前記検出ユニットには、前記探針の走査中に発生する散乱光を検出可能な光検出手段と、この光検出手段の出力信号から前記探針の先端近傍以外の散乱光に対応した信号成分を除去する信号処理手段とが設けられていることを特徴とする走査型光顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 ,  G01B 21/30

FI (3)：

G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z ,  G01B 21/30 Z