Pat

J-GLOBAL ID：200903027411274196

ウェハの研磨方法及びウェハの研磨装置

Inventor： 清水 俊邦
Applicant, Patent owner： スピードファム株式会社
Agent (1)： 下田 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995273637
Publication number (International publication number)：1997085600
Application date： Sep. 27, 1995
Publication date： Mar. 31, 1997
Summary：

【要約】【構成】 ウェハ7のエッジ研磨処理加工中に噴霧ノズル2、2’から回転するウェハ7のエッジに向けて純水を噴霧するウェハの研磨方法。及びウェハ7を保持するチャック装置を有し、該ウェハ7を傾斜する軸線の回りに回転させるチャックテーブル6と、円筒状をなすドラム部材の外周面に研磨布を貼着した研磨ドラム4を鉛直な軸線の回りに回転自在かつ前記チャックテーブル6に保持されたウェハ7の外周端部に対して研磨加工できるように配設されたウェハ研磨装置において、チャック装置に保持された研磨処理加工中のウェハ7のエッジに純水を噴霧する噴霧ノズル2、2’を適宜部位に設けたウェハの研磨装置。【効果】 純水の噴霧により研磨材を冷却することで、ウェハの急激な温度上昇を抑制することができるので、ウェハが乾燥しにくくなり、シミの固着を防止できる。

Claim (excerpt)：

ウェハのエッジ研磨処理加工中に噴霧ノズルから回転するウェハのエッジに向けて純水を噴霧するウェハの研磨方法。

IPC (3)：

B24B 9/00 ,  H01L 21/304 301 ,  H01L 21/304 321

FI (3)：

B24B 9/00 L ,  H01L 21/304 301 B ,  H01L 21/304 321 M