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J-GLOBAL ID：200903027430061764

窒化アルミニウム焼結体、金属包含材、静電チャック、窒化アルミニウム焼結体の製造方法および金属包含材の製造方法

Inventor： 山田 直仁 ,  森 行正 ,  別所 裕樹 ,  小林 廣道
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996293129
Publication number (International publication number)：1998072260
Application date： Oct. 16, 1996
Publication date： Mar. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】窒化アルミニウムからなる基材の中に金属部材を埋設した金属包含材において、窒化アルミニウム中に低抵抗材料を添加することなく、金属包含材の体積抵抗率を制御すること。この金属包含材を利用して、静電チャックを広い温度範囲で使用できるようにし、かつ腐食性物質の作用に対しても安定にする。【解決手段】アルミニウム以外の金属元素の含有量が100ppm以下であり、室温における体積抵抗率が1.0×109 Ω・cm以上、1.0×101 3 Ω・cm以下である、窒化アルミニウム焼結体を提供する。窒化アルミニウムからなる基材1内に金属部材9が埋設されている。

Claim (excerpt)：

アルミニウム以外の金属元素の含有量が100ppm以下であり、室温における体積抵抗率が1.0×109 Ω・cm以上、1.0×101 3 Ω・cm以下であることを特徴とする、窒化アルミニウム焼結体。

IPC (4)：

C04B 35/626 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/74 ,  H01L 21/68

FI (4)：

C04B 35/58 104 R ,  B23Q 3/15 D ,  C04B 35/74 ,  H01L 21/68 R