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J-GLOBAL ID：200903027436211237

樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法及び液晶素子

Inventor：
田中 光利

About 田中 光利

, 
伊藤 英明

About 伊藤 英明


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 中島 淳 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000101457
Publication number (International publication number)：2001281700
Application date： Apr. 03, 2000
Publication date： Oct. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 樹脂層が形成されたアクティブマトリクス基板のコンタクトホールの接続不良を低減すること。【解決手段】 アクティブマトリクス基板上に感光性樹脂層を形成する工程と、該感光性樹脂層をパターン露光する工程と、該感光性樹脂層を現像し該樹脂層にコンタクト部を形成する工程と、を有する樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法であって、該感光性樹脂層に含有されるモノマー重量(M)/該感光性樹脂層に含有されるバインダー重量(B)=0.85〜1.3であり、かつ該感光性樹脂層に含有される光重合開始剤重量(K)/該感光性樹脂層に含有されるモノマー重量(M)=0.04〜0.18であることを特徴とする樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法である。
Claim (excerpt)：
アクティブマトリクス基板上に感光性樹脂層を形成する工程と、該感光性樹脂層をパターン露光する工程と、該感光性樹脂層を現像し該樹脂層にコンタクト部を形成する工程と、を有する樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法であって、該感光性樹脂層に含有されるモノマー重量(M)/該感光性樹脂層に含有されるバインダー重量(B)=0.85〜1.3であり、かつ該感光性樹脂層に含有される光重合開始剤重量(K)/該感光性樹脂層に含有されるモノマー重量(M)=0.04〜0.18であることを特徴とする樹脂層付アクティブマトリクス基板の製造方法。
IPC (4)：
G02F 1/1368 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 338 ,  G03F 7/004 511
FI (4)：
G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 338 ,  G03F 7/004 511 ,  G02F 1/136 500
F-Term (47)：
2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC81 ,  2H025BJ10 ,  2H025FA48 ,  2H090HB17X ,  2H090HC12 ,  2H090HC13 ,  2H090HD05 ,  2H090JA05 ,  2H090JB03 ,  2H090LA04 ,  2H090LA15 ,  2H092JA24 ,  2H092JA46 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092JB58 ,  2H092KB25 ,  2H092KB26 ,  2H092MA02 ,  2H092NA15 ,  2H092NA29 ,  2H092PA08 ,  5C094AA02 ,  5C094AA21 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094ED03 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5C094HA02 ,  5C094HA06 ,  5C094HA07 ,  5C094HA08 ,  5C094HA10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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