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J-GLOBAL ID：200903027442336920

複層セラミックスヒ-タ

Inventor： 狩野 正樹 ,  平田 和人 ,  黒沢 幸夫
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 好宮 幹夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999016983
Publication number (International publication number)：2000215970
Application date： Jan. 26, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、剛性に優れ反りや破損が生じることがないとともに、熱効率にも優れた複層セラミックスヒータを提供する。【解決手段】 少なくとも電気絶縁性セラミックスからなる支持基板と、その表面に接合した導電性セラミックスまたは金属からなる発熱体から構成された複層セラミックスヒータにおいて、該支持基板と発熱体とが接合していない支持基板の裏面に凹凸部を形成させて支持基板の熱容量を減らすことにより熱効率を向上させることができる複合セラミックスヒータ。

Claim (excerpt)：

少なくとも電気絶縁性セラミックスからなる支持基板と、その表面に接合した導電性セラミックスまたは金属からなる発熱体から構成された複層セラミックスヒータにおいて、該支持基板と発熱体とが接合されていない支持基板の裏面に凹凸部を形成させたことを特徴とする複層セラミックスヒータ。

IPC (3)：

H05B 3/20 328 ,  H01L 21/31 ,  H05B 3/14

FI (3)：

H05B 3/20 328 ,  H01L 21/31 F ,  H05B 3/14 B

F-Term (38)：

3K034AA02 ,  3K034AA21 ,  3K034AA22 ,  3K034AA35 ,  3K034AA37 ,  3K034BB06 ,  3K034BB11 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC15 ,  3K034BC29 ,  3K034CA25 ,  3K034CA32 ,  3K034FA39 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB09 ,  3K092QB15 ,  3K092QB44 ,  3K092QB45 ,  3K092QB75 ,  3K092QB78 ,  3K092QC37 ,  3K092QC54 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF19 ,  3K092RF25 ,  3K092VV22 ,  3K092VV26 ,  3K092VV31 ,  3K092VV40 ,  5F045EM02 ,  5F045EM08 ,  5F045EM09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 複層セラミックスヒーター
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-154882   Applicant：信越化学工業株式会社
• 静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-015469   Applicant：京セラ株式会社