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J-GLOBAL ID：200903027464450565
搬送装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993247499
Publication number (International publication number)：1995078861
Application date： Sep. 07, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：
【要約】【目的】第1の搬送手段に保持された搬送対象を第2の搬送手段に受け渡した後、第2の搬送手段を移動させることにより、搬送対象を所定の位置に搬送する搬送装置において、搬送動作を一段と短時間化する。【構成】第1の搬送手段11に保持された搬送対象10を第2の搬送手段3に受け渡し真空吸着する際に、第2の搬送手段3の吸着手段4A、4B、4C、4Dの吸着圧に基づいて搬送対象10の吸着完了状態を検出することにより、搬送対象10を吸着完了した第2の搬送手段3を吸着完了後直ちに移動開始することができ、この分搬送動作に要する時間を一段と短時間化することができる。
Claim (excerpt)：
第1の搬送手段に保持された搬送対象を第2の搬送手段に受け渡した後、上記第2の搬送手段を移動させることにより、上記搬送対象を所定の位置に搬送する搬送装置において、上記第2の搬送手段に設けられ、上記搬送対象を真空吸着する吸着手段と、上記吸着手段の吸着圧を検出する圧力検出手段と、上記圧力検出手段の検出結果が所定圧を越えたとき、上記第2の搬送手段を移動開始する制御手段とを具えることを特徴とする搬送装置。
IPC (2)：
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