Pat

J-GLOBAL ID：200903027476397430

ポリイミドフィルム・金属箔複合フィルムの製造方法

Inventor： 稲垣 訓宏 ,  鈴木 孝典
Applicant, Patent owner： 株式会社巴川製紙所
Agent (1)： 渡部 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993124636
Publication number (International publication number)：1994316759
Application date： Apr. 30, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ポリイミドフィルムと金属箔の接着力を改善し、かつ、接着剤を使用しないで2層構造のポリイミド・金属箔複合フィルムを製造することを可能にする方法を提供する。【構成】 ポリイミドフィルム・金属箔複合フィルムの製造方法は、ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処理してラジカルを発生させる工程、プラズマ処理されたポリイミドフィルム表面に生じたラジカル種にビニルイミダゾールをグラフト重合させるグラフト重合処理工程、および上記グラフト重合処理されたポリイミドフィルム表面にスパッタリングまたは蒸着によって金属箔膜を固定する工程よりなる。プラズマ処理は、周波数13.56MHzの高周波を用い、出力5W〜50W、圧力6.7Pa〜266Pa、照射時間2秒〜60秒の条件下で行う。

Claim (excerpt)：

ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処理してラジカルを発生させる工程、プラズマ処理されたポリイミドフィルム表面に生じたラジカル種にビニルイミダゾールをグラフト重合させるグラフト重合処理工程、および上記グラフト重合処理されたポリイミドフィルム表面にスパッタリングまたは蒸着によって金属箔膜を固定する工程よりなることを特徴とするポリイミドフィルム・金属箔複合フィルムの製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/20 ,  B32B 15/08