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J-GLOBAL ID：200903027511141860
寸法測定用容量性装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
旦 武尚 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997293669
Publication number (International publication number)：1998132602
Application date： Oct. 09, 1997
Publication date： May. 22, 1998
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 機械的な位置誤差に対して感度が低いシステムにおいて、高分解能および高レベルの精度を達成すること。【解決手段】 二重放射および多重受信の容量性測定装置であって、これは電極56,57のアレイを備えたスケール55と、スケール55に対向して平行に移動し二つの放射電極51,52とN個のグループに分散された受信電極53のアレイを備えたトランスジューサ50とを含む。異なった電極の間の容量結合により、トランスジューサの位置を決定することができる。クロック発生器12は、トランスジューサの二つの放射電極51,52で逆位相の二つの放射信号E0,E1を放射させる。発生された放射信号E0,E1の周波数は、トランスジューサの変位の速度に依存する。処理手段は、受信電極53で受信されたN個の信号R0〜R7の助けを借りて寸法を決定する。
Claim (excerpt)：
スケール電極のアレイを備えたスケールと、スケールに面して平行に変位することができ、m=2個の放射電極およびn個の受信電極を備えたトランスジューサであって、前記スケール電極が前記m=2個の放射電極と前記n個の受信電極に容量結合され、電極間の結合がトランスジューサの位置に依存しており、n個の受信電極が互いに接続された電極のN個のグループを形成するように電気的に接続され、Nが2以上の整数であるものと、放射電極上に逆位相でm=2個の放射信号を発生させる発生器と、受信電極のN個のグループで受信されたN個の測定信号の助けを借りてスケールに沿ったトランスジューサの位置を表す数値結果を決定する処理手段とを含む寸法を測定するための容量性装置。
IPC (3)：
G01D 5/245
, G01B 7/00
, G01D 5/24
G01D 5/245 C
, G01B 7/00 K
, G01D 5/24 D
