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J-GLOBAL ID：200903027527584834

プローブ顕微鏡

Inventor： 脇山 茂 ,  山本 浩令 ,  安武 正敏
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993067130
Publication number (International publication number)：1994281446
Application date： Mar. 25, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体レーザ光をばね要素先端に容易に位置合わせし集光させる手段を有するプロ-ブ顕微鏡を提供すること。【構成】 ホルダ部1は以下の構成からなる。磁性材からなる板3に接着されたばね要素2は位置合わせ用の穴6が設けられているベ-ス4に固定された磁石5の磁力により保持される。試料を3次元に精密に移動させる移動手段に容易に取り付け取り外しができるように構成された位置合わせ用治具部10は以下の構成からなる。基盤11上には先端にピン13が固定されたレバ-ブロック12とばね要素とレ-ザ光の位置合わせ状況を見るための鏡14が固定され、磁力により光検出系に固定されたホルダ部1をばね要素2とレ-ザ光の位置合わせ状況をモニタで確認しながら本来精密に試料を移動させるための移動手段により位置合わせ用治具部10を介して、容易にレーザ光を数十μからなるばね要素2の先端に位置合わせし集光させる。

Claim (excerpt)：

試料表面より受ける原子間力や磁気力等を変位に変換するばね要素と、その変位をレーザー光をばね要素に照射しその反射光の位置ずれとして光検出素子にて検出する変位検出手段と、試料とばね要素を3次元的に相対運動させる粗動機構及び微動素子と、試料とばね要素間を一定の距離に保つ制御手段と、装置から振動を除去する除振機構と、装置全体を制御するコンピュータを有し、前記ばね要素と前記変位検出手段を前記微動素子側に配置した構成からなる、試料表面の形状を観察するプローブ顕微鏡において、前記試料を3次元的に移動させる移動手段(ステージ)を操作して、前記移動手段に設けられた治具により前記ばね要素の先端部とレーザー光の位置合わせを行わせる手段を設けてなるプローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 原子間力顕微鏡のアライメント方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-086738   Applicant：株式会社ニコン