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J-GLOBAL ID：200903027531678789

画像表示用の基板とその製造方法、およびTFT表示素子

Inventor： 加藤 直樹 ,  欅田 昌也
Applicant, Patent owner： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994174577
Publication number (International publication number)：1995092501
Application date： Jul. 26, 1994
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【構成】基板に行電極線、列電極線、画素電極5a、画素駆動TFT10A、行駆動TFT10B1 と10B2 と10CX を備えた行駆動回路6、列駆動TFT10DX と10EX と10FX を備えた列駆動回路7が設けられ、前記行駆動TFTはいずれかの行の画素駆動TFT10Aの並びに対して直線状に配置され、前記列駆動TFTは行方向に略平行かつ直線状となるように配置されてなることを特徴とする画像表示用の基板。【効果】室温雰囲気下できわめて高速に非晶質半導体の多結晶化処理を行い得る、また、多結晶半導体チャネルを有するTFTの安定した特性が得られる。

Claim (excerpt)：

基板に、複数の行電極線と複数の列電極線とが格子状に配列され、各交点に対応して画素電極と多結晶半導体チャネルを有する画素駆動TFTとが備えられ、該画素駆動TFTは少なくとも行方向に直線状に配置され、行電極線から画素駆動TFTに行信号が供給され、列電極線から画素駆動TFTに列信号が供給されてなる画像表示素子用の基板において、各行電極線に対応せしめられ、行信号を供給する複数の行駆動回路が同一基板上にさらに備えられ、各行駆動回路に少なくとも一つの行駆動TFTが備えられ、該行駆動TFTは多結晶半導体チャネルを有し、該行駆動TFTは一つの行の画素駆動TFTと行方向に直線状に配置され、かつ、列電極線に対応せしめられ、列信号を供給する複数の列駆動回路が同一基板上にさらに備えられ、該列駆動回路にそれぞれ列駆動TFTが少なくとも一つ備えられ、該列駆動TFTは多結晶半導体チャネルを有し、異なる列から一つずつ選ばれた複数の列駆動TFTは行方向にほぼ平行かつ直線状に配置されてなることを特徴とする画像表示用の基板。

IPC (4)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 21/268 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (2)：

H01L 29/78 311 A ,  H01L 29/78 311 Y