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J-GLOBAL ID：200903027570687329
静電気除去方法及びその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
平山 一幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993024488
Publication number (International publication number)：1995022530
Application date： Feb. 12, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：
【要約】【目的】 極めて清浄な雰囲気を保持して効果的に静電気を除去する。【構成】 送風機8から風道2内に送風して気体を移動させる。さらに、風道2内に配置された光源4から紫外線を気体に放射し、この気体の分子を構成する原子間の結合エネルギーを上廻る紫外線のエネルギーにより、分子を構成原子に分解し、イオンを発生させる。このイオンにより静電気を中和して静電気の除去を行う。
Claim (excerpt)：
紫外線を気体に照射し、この気体の分子を構成する原子間の結合エネルギーを上廻る紫外線のエネルギーにより、分子を構成原子に分解してイオンを発生させ、このイオンにより静電気を中和して静電気の除去を行うことを特徴とする静電気除去方法。
IPC (3)：
H01L 23/00
, H01L 21/304 341
, H05F 3/04
