高周波電流の測定方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：吉田茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997238373
Publication number (International publication number)：1999083907
Application date： Sep. 03, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】高周波電源を使用する装置において、同軸ケーブルなど一連の高周波電流の伝達経路を繋ぎ換えるような作業を必要とせず、簡便に、低コストで、正確に高周波電流のスプリアス成分や周波数変動を測定できる高周波電流の測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】高周波電源1とマッチングボックス2との間は同軸ケーブル4によって電気的に接続され、マッチングボックス2と装置本体3との間は同軸ケーブル5によって電気的に接続されている。そして、同軸ケーブル5の外周にはクランプ式の高周波変流器(CT)6が配設され、高周波変流器6の出力信号がオシロスコープ7に与えられる構成となっている。

Claim (excerpt)：

高周波電源から出力される高周波電流の測定方法であって、前記高周波電流は同軸ケーブルを通じて負荷に与えられ、前記同軸ケーブルの外周を囲むように少なくとも1の高周波変流器を配設し、前記同軸ケーブルから漏洩する漏洩電流を測定することで、前記同軸ケーブルに流れる前記高周波電流を間接的に測定する、高周波電流の測定方法。

IPC (3)：

G01R 15/18 , G01R 29/00 , H05H 1/46

FI (3)：

G01R 15/02 G , G01R 29/00 F , H05H 1/46 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

放電を利用する真空装置における放電検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-222093 Applicant：日本真空技術株式会社
誘導結合プラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-159470 Applicant：株式会社日立製作所
ノイズ消去回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-222934 Applicant：関西日本電気株式会社

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