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J-GLOBAL ID：200903027595683883

光硬化型仮固定用シート

Inventor：
北野 秀樹

About 北野 秀樹

, 
小坪 秀史

About 小坪 秀史

, 
稲宮 隆人

About 稲宮 隆人


Applicant, Patent owner：
株式会社ブリヂストン

About 株式会社ブリヂストン


Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001307750
Publication number (International publication number)：2003113355
Application date： Oct. 03, 2001
Publication date： Apr. 18, 2003
Summary：
【要約】【課題】 基材上に粘着剤層を形成してなる光硬化型仮固定用シートであって、粘着剤層の硬化前においては、ウエハ等の被処理物に対する粘着力が十分に強く、ウエハ等の被処理物を確実に保護又は固定することができ、粘着剤層の硬化後においては、ウエハ等の被処理物に対する粘着力が十分に弱く、ウエハ(又はチップ)等の被処理物を仮固定用シートから糊残りの殆どない良好な状態で容易に剥離することができる光硬化型仮固定用シートを提供する。【解決手段】 基材2上に粘着剤層3を形成してなる光硬化型仮固定用シート1。粘着剤層3は、硬化前のガラス転移点が20°C以下で、光重合可能な官能基を1〜100mol%含む反応性高分子を主成分とする。
Claim (excerpt)：
基材上に粘着剤層を形成してなる光硬化型仮固定用シートにおいて、該粘着剤は、光重合可能な官能基を1〜100mol%含み且つ硬化前のガラス転移点が20°C以下の反応性高分子を主成分とすることを特徴とする光硬化型仮固定用シート。
IPC (5)：
C09J 7/02 ,  C09J 11/06 ,  C09J133/00 ,  H01L 21/301 ,  H01L 21/304 622
FI (5)：
C09J 7/02 Z ,  C09J 11/06 ,  C09J133/00 ,  H01L 21/304 622 J ,  H01L 21/78 M
F-Term (35)：
4J004AA10 ,  4J004AA17 ,  4J004AB01 ,  4J004AB07 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004FA08 ,  4J040DF031 ,  4J040EF281 ,  4J040EF282 ,  4J040FA091 ,  4J040FA092 ,  4J040FA141 ,  4J040FA142 ,  4J040FA161 ,  4J040FA162 ,  4J040FA171 ,  4J040FA172 ,  4J040FA181 ,  4J040FA182 ,  4J040FA261 ,  4J040FA262 ,  4J040FA291 ,  4J040FA292 ,  4J040GA07 ,  4J040GA11 ,  4J040GA20 ,  4J040JA09 ,  4J040JB08 ,  4J040KA15 ,  4J040LA02 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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