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J-GLOBAL ID：200903027619514000

圧電型駆動装置

Inventor： 中野 勝志
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994246251
Publication number (International publication number)：1996105903
Application date： Oct. 12, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 X、Y、Z各方向の圧電駆動部材の変位が互いに干渉しないで、かつ高速な探針走査を可能とする圧電型駆動装置を提供する。【構成】 Y方向に変位を発生する一端が固定された第1の圧電駆動部材1と、該第1の圧電駆動部材1の他端に設けられた前記第1の圧電駆動体の変位方向に対し直角なX方向に変位を発生する第2の圧電駆動部材2と、前記第2の圧電駆動部材の自由端側に設けられた前記第1及び第2の圧電駆動部材の変位方向に対し垂直なZ方向に変位を発生する第3の圧電駆動部材3と、前記第3の圧電駆動部材の自由端側に設けられた試料上を走査し、局所情報を検出する探針4とから構成されている。

Claim (excerpt)：

X,Y、Z方向の3方向に変位を発生させる圧電型駆動装置において、Y方向に変位を発生する一端が固定された第1の圧電駆動部材と、該第1の圧電駆動部材の他端に設けられた前記第1の圧電駆動体の変位方向に対し直角なX方向に変位を発生する第2の圧電駆動部材と、前記第2の圧電駆動部材の自由端側に設けられた前記第1及び第2の圧電駆動部材の変位方向に対し垂直なZ方向に変位を発生する第3の圧電駆動部材と、前記第3の圧電駆動部材の自由端側に設けられた試料上を走査し局所情報を検出する探針とを備えたことを特徴とする圧電型駆動装置。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G05D 3/00